JC/T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件
本标准为JC/T 181-2011，标准的中文名称为半导体用透明石英玻璃器件，标准的英文名称为Transparent quartz glass devices for semiconductor，本标准在2011-12-20发布，在2012-07-01开始实施。本标准作废日期为2017-05-12。本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件,包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准执行。
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