半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法（SJ/T 11487-2015），该标准的归口单位为全国半导体设备与材料标准化技术委员会，英文名为Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer。
半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法（SJ/T 11487-2015）是在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法。本标准适用于半绝缘砷化稼、磷化铟、碳化硅等高阻半导体材料电阻率的测量,电阻率的测量范围为10^5Ω·cm～10^12Ω·cmo
本标准文件共有8页。
SJ_T 11487-2015 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法.pdf
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