GB/T 31058-2014 电子工业用气体四氟化硅

linzicheng · 发表于 2021-4-10 02:52

本标准为GB/T 31058-2014，标准的中文名称为电子工业用气体四氟化硅，标准的英文名称为Gases for electronic industry. Silicon tetrafluoride，本标准在2014-12-22发布，在2015-07-01开始实施。
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试脸方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。分子式：SiF(4)。相对分子质量:104.0786128（按2009年国际原子相对质量)。
本标准文件共有7页。

GB_T 31058-2014 电子工业用气体四氟化硅.pdf (428.96 KB)

5201314 · 发表于 2022-5-18 21:28

看看怎样

伸手党 · 发表于 2023-5-21 21:25

好资源，正好需要

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GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅

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