晶片正面系列字母数字标志规范（YS/T 986-2014），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，英文名为Specification for serial alphanumeric marking of the front surface of wafers。
晶片正面系列字母数字标志规范（YS/T 986-2014）是在2014-10-14发布，在2015-04-01开始实施。
该标准采用了标准SEMI M12-0706,IDT。
本标准定义了标记包括字母数字的几何尺寸和空间位置,尤其适用于带参考面和带缺口的硅抛光片。本标准不涉及制作标记的技术。
本标准文件共有12页。
YS_T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范.pdf
(590.95 KB)
|
|
