本标准为GB/T 13387-2009，标准的中文名称为硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法，标准的英文名称为Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials，本标准在2009-10-30发布，在2010-06-01开始实施。
该标准采用了标准SEMI MF 671-0705,MOD。
本标准涵盖了对晶片边缘平直部分长度的确认方法。本标准用于标称圆形晶片边缘平直部分长度小于等于65mm的电学材料。本标准仅对硅片精度进行确认,预期精度不因材料而改变
本标准文件共有8页。
GB_T 13387-2009 硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法.pdf
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