本标准为GB/T 1557-2006,标准的中文名称为硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法,标准的英文名称为The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption,本标准在2006-07-18发布,在2006-11-01开始实施。
本标准作废日期为2019-06-01。被标准GB/T 1557-2018替代。
该标准采用了标准ASTM F1188-2000,MOD。
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm单晶中间隙氧含量的侧量。本标准测量氧含量的有效范围从1×10(16次方)at· 平方厘米到硅中间隙氧的最大固溶度。
本标准文件共有8页。
GB_T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法.pdf
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