真空技术 质谱检漏仪校准(GB/T 18193-2000),该标准的归口单位为全国真空技术标准化技术委员会,英文名为Vacuum technology. Mass-spectrometer-type leak detector calibration。
真空技术 质谱检漏仪校准(GB/T 18193-2000)是在2000-09-26发布,在2001-02-01开始实施。
该标准采用了标准ISO 3530-1979,IDT。
本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下,可以使用其他探索气体,如氩-40。本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。
本标准文件共有14页。
GB_T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准.pdf
(529.42 KB)
|
|