GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

本标准为GB/T 19921-2018，标准的中文名称为硅抛光片表面颗粒测试方法，标准的英文名称为Test method for particles on polished silicon wafer surfaces，本标准在2018-12-28发布，在2019-07-01开始实施。
本标准文件共有29页。
GB_T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法.pdf (2.52 MB)

2018-12-27 05:35 上传

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