本标准为GB/T 16595-1996，标准的中文名称为晶片通用网格规范，标准的英文名称为Specification for a universal wafer grid，本标准在1996-11-04发布，在1997-04-01开始实施。
本标准作废日期为2020-02-01。被标准GB/T 16595-2019替代。
该标准采用了标准SEMI M17-1990,MOD。
本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网络图形。网络规定包含1 000个面积近似相等的网格单元,每个网格单元相当于受检表面固定优质区总面积的0.1%。根据晶片表面上有缺陷的面积百分比,可定量其非均匀分布的表面缺陷。
本标准文件共有7页。
GB_T 16595-1996 晶片通用网格规范.pdf
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