SJ/T 31100-1994 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

Flanker · 发表于 2021-12-5 01:18

离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法（SJ/T 31100-1994），该标准的归口单位为无，离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法（SJ/T 31100-1994）是在1994-04-15发布，在1994-06-01开始实施。
本标准规定了半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机。
本标准文件共有5页。

SJ_T 31100-1994 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法.pdf (937.22 KB)

阿修羅 · 发表于 2022-3-17 09:13

这个好啊，谢谢了。

eeeeeee · 发表于 2022-3-23 08:55

看看怎样

		自动登录	找回密码
密码			QQ一键登录

SJ/T 31100-1994 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

相关帖子

浏览过的版块