本标准为SJ 3244.5-1989，标准的中文名称为砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法，标准的英文名称为Methods of measurement for compensation degree of Gallium arsenide and Indium phosphide materias，本标准在1989-03-20发布，在1989-03-25开始实施。
本标准规定了砷化镓和磷化铟材料确定补偿度的测量原理,仪器设备、样品制备及测试分析方法。本标准适用于n型、P型砷化镓和磷化铟单晶及高阻衬底外延层,载流子浓度在1×10^12~5×10^15cm^-3范围的半导体材料的补偿度的测试分析。原则上也适用于其他Ⅲ-V族化合物材料补偿度的测试分析。
本标准文件共有7页。 SJ 3244.5-1989 砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法.pdf(1.07 MB)
