GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅

truly · 发表于 2025-6-13 13:11

硅外延用三氯氢硅（GB/T 30652-2023），英文名为Trichlorosilane for silicon epitaxial。
硅外延用三氯氢硅（GB/T 30652-2023）是在2023-08-06发布，在2024-03-01开始实施。
本文件规定了硅外延用三氯氢硅（SiHCL<sub>3</sub>）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。本文件适用于以三氧氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。
本标准文件共有10页。

GB_T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅.pdf (673.37 KB)

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