本标准为GB/T 44513-2024,标准的中文名称为微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法,标准的英文名称为Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application,本标准在2024-09-29发布,在2025-01-01开始实施。
该标准采用了标准本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-37:2020。。
本标准文件共有16页。 GB_T 44513-2024 微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法.pdf(1.14 MB)