GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨

电子工业用气体 六氟化钨（GB/T 32386-2015），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为Gases for electronic industry. Tungsten hexaflouride。
电子工业用气体 六氟化钨（GB/T 32386-2015）是在2015-12-31发布，在2016-07-01开始实施。
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。
本标准文件共有16页。
GB_T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨.pdf (915.78 KB)

2021-4-12 10:38 上传

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