本标准为GB/T 32188-2015，标准的中文名称为氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法，标准的英文名称为Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate，本标准在2015-12-10发布，在2016-11-01开始实施。
本标准规定了利用双晶X射线衍射仪策试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
本标准文件共有9页。 GB_T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法.pdf(449.69 KB)
