YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

小心啊 · 发表于 2021-4-12 18:56

本标准为YS/T 1031-2015，标准的中文名称为化学气相沉积炉，标准的英文名称为Chemical vapor deposition furnace，本标准在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于化学气相沉积。
本标准文件共有10页。

YS_T 1031-2015 化学气相沉积炉.pdf (505.09 KB)

ginger · 发表于 2021-12-24 00:05

看看。。。

baqi999 · 发表于 2022-2-28 06:00

感谢分享~

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YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

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