YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

本标准为YS/T 983-2014，标准的中文名称为多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法，标准的英文名称为Test method for measuring composition of polysilicon
deposition reactor and TCS to STC converter vent gas，本标准在2014-10-14发布，在2015-04-01开始实施。
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的侧定。检测范围为体积分数0.1%～100%。
本标准文件共有7页。
YS_T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法.pdf (279.84 KB)

2021-4-11 12:41 上传

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