GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱

硅材料原生缺陷图谱（GB/T 30453-2013），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为Metallographs collection for original defects of crystalline silicon。
硅材料原生缺陷图谱（GB/T 30453-2013）是在2013-12-31发布，在2014-10-01开始实施。
本标准给出了硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料的各种原生缺陷及其密切相关诱生缺陷的术语及其形貌特征图谱。分析了其产生的原因和消除方法。本标准适用于硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料生产研究中各种缺陷的检验。硅器件、集成电路的生产研究也可参考本标准。
本标准文件共有84页。
GB_T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱.pdf (28.68 MB)

2021-4-11 08:31 上传

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