表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定（GB/T 28632-2012），该标准的归口单位为全国微束分析标准化技术委员会，英文名为Surface chemical analysis. Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy. Determination of lateral resolution。
表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定（GB/T 28632-2012）是在2012-07-31发布，在2013-02-01开始实施。
该标准采用了标准ISO 18516-2006,IDT。
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
本标准文件共有23页。
GB_T 28632-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定.pdf
(1.09 MB)
|
|
