GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢:本标准为GB/T 16942-2009，标准的中文名称为电子工业用气体 氢，标准的英文名称为Gas for electronic industry. Hydrogen，本标准在2009-10-30发布，在2010-05-01开始实施。
本标准规定了电子工业用氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以红气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。
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GB_T 16942-2009 电子工业用气体 氢.pdf