GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦:本标准为GB/T 16943-2009，标准的中文名称为电子工业用气体 氦，标准的英文名称为Gas for electronic industry. Helium，本标准在2009-10-30发布，在2010-05-01开始实施。
本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和众态氦,以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。
本标准文件共有8页。
GB_T 16943-2009 电子工业用气体 氦.pdf