GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮:本标准为GB/T 16944-2009，标准的中文名称为电子工业用气体 氮，标准的英文名称为Gas for electronic industry. Nitrogen，本标准在2009-10-30发布，在2010-05-01开始实施。
本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。
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GB_T 16944-2009 电子工业用气体 氮.pdf