GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法:硅抛光片表面质量目测检验方法（GB/T 6624-2009），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会，英文名为Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection。
硅抛光片表面质量目测检验方法（GB/T 6624-2009）是在2009-10-30发布，在2010-06-01开始实施。
本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片(以下简称抛光片)表面质量的方法。本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考方法进行。
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GB_T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法.pdf