GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法:本标准为GB/T 4060-2018，标准的中文名称为硅多晶真空区熔基硼检验方法，标准的英文名称为Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method，本标准在2018-09-17发布，在2019-06-01开始实施。
本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量(原子数)测定范围为0.01 X 10^(15)/cm^(-3)～5 X10^(15)/cm^(-3)
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GB_T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法.pdf