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GB_T 23611-2009 金靶材.pdf

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GB/T 23611-2009 金靶材:

本标准为GB/T 23611-2009，标准的中文名称为金靶材，标准的英文名称为Gold target，本标准在2009-04-15发布，在2010-02-01开始实施。
本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运愉、贮存及订货单(或合同)内容。本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)
本标准文件共有6页。

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