GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝:本标准为GB/T 36653-2018，标准的中文名称为电子级三甲基铝，标准的英文名称为Electronic grade trimethylaluminium，本标准在2018-09-17发布，在2019-01-01开始实施。
本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
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GB_T 36653-2018 电子级三甲基铝.pdf