GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法:表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法（GB/T 22572-2008），该标准的归口单位为全国微束分析标准化技术委员会，英文名为Surface chemical analysis. Secondary-ion mass spectrometry. Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials。
表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法（GB/T 22572-2008）是在2008-12-11发布，在2009-10-01开始实施。
被标准 替代。
该标准采用了标准ISO 20341-2003,IDT。
本标准详细说明了在SIMS深度剖析中,用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。
由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定,本标准不适用于近表面区域的δ层。
本标准文件共有7页。
GB_T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法.pdf