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GB_T 21287-2007 电子工业用气体三氟化氮.pdf

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GB/T 21287-2007 电子工业用气体三氟化氮:

本标准为GB/T 21287-2007，标准的中文名称为电子工业用气体三氟化氮，标准的英文名称为Gases for electronic industry. Nitrogen trifluoride，本标准在2007-12-14发布，在2008-07-01开始实施。
被标准替代。
本标准规定了瓶装电子工业用气体－－三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。
本标准文件共有18页。

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