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GB_T 36306-2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南.pdf

 

GB/T 36306-2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南:
洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南(GB/T 36306-2018),该标准的归口单位为全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会,英文名为Cleanrooms and associated controlled environments. Guidelines for airborne chemical contamination control。
洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南(GB/T 36306-2018)是在2018-06-07发布,在2018-10-01开始实施。
本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。本标准不适用于核能和军事应用。
本标准文件共有20页。

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