GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯:电子工业用气体 高纯氯（GB/T 18994-2003），该标准的归口单位为全国气体标准化技术委员会，英文名为Gases for electronic industry. High purity chlorine。
电子工业用气体 高纯氯（GB/T 18994-2003）是在2003-03-05发布，在2003-08-01开始实施。
它在2015-07-01作废。被标准GB/T 18994-2014替代。
该标准采用了标准SEMI C3.32-1995,NEQ。
本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输及贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。分子式:Cl(2)。相对分子质量:70.906(按1999年国际相对原子质量)。101.3kPa下的沸点:-34.05℃。101.3kPa下的溶点:-101.0℃。101.3kPa及20℃下气体的密度:2.980kg/立方米。
本标准文件共有9页。
GB_T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯.pdf