GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫:电子工业用气体 六氟化硫（GB/T 18867-2002），该标准的归口单位为全国气体标准化技术委员会，英文名为Gases for electronic industry. Sulfur hexafluoride。
电子工业用气体 六氟化硫（GB/T 18867-2002）是在2002-10-15发布，在2003-04-01开始实施。
它在2015-07-01作废。被标准GB/T 18867-2014替代。
该标准采用了标准SEMI C3.24-1995,NEQ。
本标准规定了电子下业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装,标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。
本标准文件共有10页。
GB_T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫.pdf