GB/T 37385-2019 硅中氯离子含量的测定 离子色谱法:《硅中氯离子含量的测定 离子色谱法》(GB/T 37385-2019),该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会,英文名为Test method for chloride content of silicon—Ion chromatography method。
《硅中氯离子含量的测定 离子色谱法》(GB/T 37385-2019)是在2019-03-25发布,在2020-02-01开始实施。
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