GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板:硬面光掩模基板（GB/T 15871-1995），该标准的归口单位为电子工业部标准化研究所，英文名为Hard surface photomask substrates。
硬面光掩模基板（GB/T 15871-1995）是在1995-12-22发布，在1996-08-01开始实施。
该标准采用了标准SEMI P1-1992,NEQ。
本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板(以下简称基板)。
本标准文件共有13页。
GB_T 15871-1995 硬面光掩模基板.pdf