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GB_T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法.pdf

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硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法（GB/T 14146-2021），硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法（GB/T 14146-2021）是在2021-05-21发布，在2021-12-01开始实施。
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