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GB_T 40110-2021 表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染.pdf

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GB/T 40110-2021 表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染:

本标准为GB/T 40110-2021，标准的中文名称为表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染，标准的英文名称为Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy，本标准在2021-05-21发布，在2021-12-01开始实施。
该标准采用了标准IDT;ISO 14706- 2014。
本标准文件共有25页。

标准封面截图：
GB/T 40110-2021 表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染

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