GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆:光刻用石英玻璃晶圆（GB/T 34177-2017），该标准的归口单位为全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会，英文名为Quartz glass wafer for lithography。
光刻用石英玻璃晶圆（GB/T 34177-2017）是在2017-09-07发布，在2018-08-01开始实施。
本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆(以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
本标准文件共有12页。
GB_T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆.pdf