微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法（GB/T 42896-2023），英文名为Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS。
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法（GB/T 42896-2023）是在2023-08-06发布，在2023-12-01开始实施。
本文件描述了硅基MEMS制造技术中所涉及的纳尺度膜结构沿厚度方向冲击试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳尺度结构在一次冲击负荷作用下的耐冲击性能的测试。
本标准文件共有13页。
GB_T 42896-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法.pdf