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GB_T 42720-2023 电子特气六氯乙硅烷.pdf

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GB/T 42720-2023 电子特气六氯乙硅烷:

电子特气六氯乙硅烷（GB/T 42720-2023），英文名为Electronic specialty gas—Hexachlorodisilane。
电子特气六氯乙硅烷（GB/T 42720-2023）是在2023-08-06发布，在2024-03-01开始实施。
本标准文件共有16页。

标准封面截图：
GB/T 42720-2023 电子特气六氯乙硅烷

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