微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法（GB/T 42897-2023），英文名为Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS。
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法（GB/T 42897-2023）是在2023-08-06发布，在2023-12-01开始实施。
本文件描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。
本标准文件共有12页。
GB_T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法.pdf