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GB/T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法: GB_T 6616-2023.png

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GB/T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法:

半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法（GB/T 6616-2023），英文名为Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge。
半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法（GB/T 6616-2023）是在2023-08-06发布，在2024-03-01开始实施。
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