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GB_T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法.pdf

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GB/T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法:

本标准为GB/T 6616-2023，标准的中文名称为半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法，标准的英文名称为Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge，本标准在2023-08-06发布，在2024-03-01开始实施。
本标准文件共有10页。

标准封面截图：
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