本标准为GB/T 43661-2024，标准的中文名称为表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准，标准的英文名称为Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes，本标准在2024-03-15发布，在2024-10-01开始实施。
该标准采用了标准本标准等同采用ISO国际标准：ISO 13083:2015。。
本文件描述了用于测量扫描电容显微镜（scanning capacitancemicroscope,SCM）或扫描扩展电阻显微镜（scanning spreading resistance microscope,SSRM）空间（横向）分辨的方法，该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。
本标准文件共有18页。
GB_T 43661-2024 表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准.pdf