《硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》（GB/T 29056-2025），该标准的归口单位为国家标准委，英文名为Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry。
《硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》（GB/T 29056-2025）是在2025-10-31发布，在2026-05-01开始实施。
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GB_T 29056-2025 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf