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GB/T 47906-2026 300mm硅片表面纳米形貌的评价方法: GB_T 47906-2026.png

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上传时间: 2026-09-15
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GB/T 47906-2026 300mm硅片表面纳米形貌的评价方法:

《300mm硅片表面纳米形貌的评价方法》（GB/T 47906-2026），该标准的归口单位为国家标准委，英文名为Practice methods for nanotopography of 300 mm silicon wafer surface。
《300mm硅片表面纳米形貌的评价方法》（GB/T 47906-2026）是在2026-07-02发布，在2027-02-01开始实施。
本标准文件共有15页。

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GB/T 47906-2026 300mm硅片表面纳米形貌的评价方法

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