本标准为GB/T 47725-2026，标准的中文名称为微机电系统（MEMS）技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求，标准的英文名称为Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structure of through-silicon vias，本标准在2026-05-25发布，在2026-12-01开始实施。
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GB_T 47725-2026 微机电系统（MEMS）技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求.pdf