本标准为GB/T 47625-2026，标准的中文名称为精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量，标准的英文名称为Fine ceramics—Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam，本标准在2026-05-25发布，在2026-12-01开始实施。
该标准采用了标准本标准等同采用ISO国际标准：ISO 22278:2020。。
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GB/T 47625-2026 精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量: GB_T 47625-2026.png