本标准为GB/T 34326-2026，标准的中文名称为表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法，标准的英文名称为Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS，本标准在2026-01-28发布，在2026-08-01开始实施。
该标准采用了标准IDT,ISO 16531:2020。
本文件描述了在俄歇电子能谱（AES）和X射线光电子能谱（XPS）中使用惰性气体离子的离子束对准方法，以确保溅射深度剖析中的良好深度分辨和表面的最佳清洁。这些方法有两类：一类是用法拉第杯测量离子束流；另一类是成像方法。其中，法拉第杯法还规定了离子束流密度和束流分布的测量要求。本文件适用于束斑直径小于或等于1 mm的离子枪，但不包括深度分辨优化。
本标准文件共有22页。
GB_T 34326-2026 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法.pdf