GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法:本标准为GB/T 33826-2017，标准的中文名称为玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法，标准的英文名称为Measurement of nanofilm thickness on glass substrate. Profilometric method，本标准在2017-05-31发布，在2017-12-01开始实施。
本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。
本标准文件共有16页。
GB_T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法.pdf