GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范:硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范（GB/T 32814-2016），该标准的归口单位为全国微机电技术标准化技术委员会，英文名为Silicon-based MEMS fabrication technology. Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process。
硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范（GB/T 32814-2016）是在2016-08-29发布，在2017-03-01开始实施。
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
本标准文件共有15页。
GB_T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf