GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法:本标准为GB/T 30653-2014，标准的中文名称为Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法，标准的英文名称为Test method for crystal quality of Ⅲ-nitride epitaxial layers，本标准在2014-12-31发布，在2015-09-01开始实施。
本标准规定了利用高分辨X射线衍射仪测试Ⅲ族氮化物外延片结晶质量的方法。本标准适用于在氧化物衬底(Al2O3、ZnO等)或半导体衬底(GaN,Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga、In、Al)N单层或多层异质外延片结晶质量的测试。其他异质外延片结晶质量的测试也可参考本标准。
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GB_T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法.pdf